CMPプロセス導入による周期空間反転AlGaAs導波路の段差低減

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-B5-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3357

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

CMPプロセス導入による周期空間反転AlGaAs導波路の段差低減

*松本崇志, 松下智紀, 近藤高志

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キーワード: 17a-B5-3, 結晶工学, III-V族エピタキシャル結晶・エピタキシーの基礎, MBE, AlGaAs

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