応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第64回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14a-503-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

Nラジカルビーム照射によるin-situ表面改質のInN成長への効果
*藤田 諒一, Faizulsalihin bin Abas, Nur Liyana binti Zainol Abidin, 毛利 真一郎, 荒木 努, 名西 憓之
著者情報
キーワード: 14a-503-11, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MBE, スパッタリング）, InN, 分子線エピタキシー, 貫通転位
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© 2017 公益社団法人 応用物理学会
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