GaN MOVPEにおける結晶成長マルチフィジックス流動シミュレーション

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15p-503-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3407

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

GaN MOVPEにおける結晶成長マルチフィジックス流動シミュレーション

*川上賢人, 山本芳裕, 芳松克則, 岡本直也, 寒川義裕, 柿本浩一, 白石賢二

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キーワード: 15p-503-4, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, 窒化ガリウム, 有機金属気相成長法

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