冷熱サイクル試験にかけたSiCダイアタッチの非破壊・破壊複合解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16a-P5-15

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3560

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

冷熱サイクル試験にかけたSiCダイアタッチの非破壊・破壊複合解析

*山下真理, 鈴木達広, 荒木祥和, 森哲也, 荻原尚志, 田中秀和, 薬丸尚志, 谷本智

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キーワード: 16a-P5-15, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, パワーデバイス, SiC

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