走査型非線形誘電率顕微鏡を用いた局所DLTSによる界面トラップ分布の時定数依存性の観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-301-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3563

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

走査型非線形誘電率顕微鏡を用いた局所DLTSによる界面トラップ分布の時定数依存性の観察

*茅根慎通, 小杉亮治, 田中保宣, 原田信介, 奥村元, 長康雄

著者情報

キーワード: 17a-301-3, 結晶工学, IV族系化合物（SiC）, 物性評価, 界面トラップ, 局所DLTS, 走査型非線形誘電率顕微鏡法

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