Si単結晶育成時の熱応力の異方性が二次欠陥挙動に与える影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14a-F201-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3592

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

Si単結晶育成時の熱応力の異方性が二次欠陥挙動に与える影響

*神山栄治, 安部吉亮, 番場博則, 斉藤広幸, 前田進, クリエフアレクサンダー, 飯塚将也, 向山裕次, 末岡浩治

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キーワード: 14a-F201-9, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 点欠陥, Si結晶成長, 熱応力, 異方性

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