レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡によるAlO/Si膜の電界効果パッシベーションの評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17p-211-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3738

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

レーザーテラヘルツエミッション顕微鏡によるAlO/Si膜の電界効果パッシベーションの評価

*望月敏光, 伊藤明, 棚橋克人, 中西英俊, 川山巌, 斗内政吉, 白澤勝彦, 高遠秀尚

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キーワード: 17p-211-8, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, パッシベーション技術, パッシベーション, テラヘルツ, 酸化アルミ

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