スパッタ堆積MoS<sub>2</sub>薄膜の表面粗さスケーリング解析による配向性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16p-F203-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3909

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

スパッタ堆積MoS₂薄膜の表面粗さスケーリング解析による配向性評価

*石原聖也, 大野文太, 日比野祐介, 澤本直美, 大橋匠, 松浦賢太朗, 若林整, 小椋厚志

著者情報

キーワード: 16p-F203-2, ナノカーボン, 層状物質, 構造観察評価, 二硫化モリブデン

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2017 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top