Pb(Zr,Ti)O<sub>3</sub>圧電薄膜の電気的信頼性評価に関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7a-PA6-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1251

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

Pb(Zr,Ti)O₃圧電薄膜の電気的信頼性評価に関する研究

*金光勇弥, 譚ゴオン, 梅垣俊仁, 肥田博隆, 神野伊策

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キーワード: 7a-PA6-13, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電・圧電デバイス, 圧電, 薄膜, PZT

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