金属ナノ触媒を利用した非晶質シリコン薄膜の結晶化とデバイス応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7p-C18-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_129

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

金属ナノ触媒を利用した非晶質シリコン薄膜の結晶化とデバイス応用

*浦岡行治, 熊谷慎也, 山下一郎

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キーワード: 7p-C18-9, シンポジウム, ＩＶ族系半導体の製膜と低温結晶化（固相結晶化を中心に）, 多結晶シリコン薄膜, 金属触媒, 低温結晶化

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