HMDS導入CVD樟脳カーボン薄膜のXPS分析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 7p-A412-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1330

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

HMDS導入CVD樟脳カーボン薄膜のXPS分析

*羽坂奨馬, 西村謙汰, 渋谷翼, 石川博康

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キーワード: 7p-A412-11, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, アモルファスカーボン, 樟脳, ヘキサメチルジシラザン

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