電子線後方散乱回折法によるp+HPHTダイヤモンドの結晶性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 8a-PA1-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1335

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

電子線後方散乱回折法によるp+HPHTダイヤモンドの結晶性評価

*松下晃生, 芦田晃嗣, 堂島大地, 土田有記, 金子忠昭, 鹿田真一

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キーワード: 8a-PA1-4, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ダイヤモンド薄膜, ダイヤモンド

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