光MOD法への酸素プラズマ融合効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 8a-PA2-8

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1493

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

光MOD法への酸素プラズマ融合効果

*瀬川龍生, 西川雅美, 中島智彦, 土屋哲男, 齊藤信雄, 石橋隆幸

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キーワード: 8a-PA2-8, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 半導性・導電性薄膜, 光電極

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