薄膜シールド機構を備えた液中AFMの開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 6p-C24-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1548

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

薄膜シールド機構を備えた液中AFMの開発

*宮澤佳甫, 山村俊貴, 泉久範, 高橋康史, 福間剛士

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キーワード: 6p-C24-4, 薄膜・表面, プローブ顕微鏡, 走査型プローブ顕微鏡, 原子間力顕微鏡, 薄膜シールド, カンチレバー

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