Ar+H<sub>2</sub> 誘導熱プラズマにおける二次元放射強度分布の測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 5a-A413-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1699

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

Ar+H₂ 誘導熱プラズマにおける二次元放射強度分布の測定

*石坂洋輔, 兒玉直人, 清水光太郎, 隠田一輝, 田中康規, 上杉喜彦, 石島達夫, 末安志織, 渡邉周, 中村圭太郎

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キーワード: 5a-A413-6, プラズマエレクトロニクス, プラズマ診断・計測, プラズマ計測技術（光学的計測）, 誘導熱プラズマ, 二次元分光観測

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