He/NH<sub>3</sub>混合ガス大気圧プラズマジェットを用いたフッ素樹脂表面のアミノ基修飾における基板バイアスの効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 8a-PB4-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_1737

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

He/NH₃混合ガス大気圧プラズマジェットを用いたフッ素樹脂表面のアミノ基修飾における基板バイアスの効果

*金原正寛, 永津雅章

著者情報

キーワード: 8a-PB4-9, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・表面処理, 表面処理・表面改質・表面修飾, プラズマ, テフロン, アミノ基

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