3ω法によるダイヤモンド及び酸化ガリウム薄膜の熱伝導率評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第78回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 8a-PA4-30

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.2.0_3936

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 78

開催地: 福岡国際会議場

開催日: 2017/09/05 - 2017/09/08

3ω法によるダイヤモンド及び酸化ガリウム薄膜の熱伝導率評価

*鈴木伸一郎, 大曲新矢, 梅沢仁, 杢野由明, 阿久津悠介, 岡本尚樹, 齊藤丈靖

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キーワード: 8a-PA4-30, 合同セッションＫ「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」, 物性評価, 酸化ガリウム, 多結晶ダイヤモンド, 熱伝導率

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