紫外，緑，および近赤外レーザーを用いた水素フリーおよび水素含有DLC膜のラマン分光分析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-F206-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_1482

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

紫外，緑，および近赤外レーザーを用いた水素フリーおよび水素含有DLC膜のラマン分光分析

*出貝敏, 針谷達, 谷本壮, 須田善行, 滝川浩史, 権田英修, 神谷雅男, 瀧真

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キーワード: 19p-F206-7, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, ダイヤモンドライクカーボン, ラマン分光分析

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