応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第65回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19p-F206-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

大気圧窒素プラズマ法により合成した窒化炭素のFTIR(吸着水の影響）
*財部 健一, 石原 凌, 稲富 龍将, 平井 正明
著者情報
キーワード: 19p-F206-9, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, B-C-N系薄膜, 窒化炭素, 吸着水, 赤外吸収
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