AlN圧電薄膜の結晶構造における種々の元素添加の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-P6-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_1629

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

AlN圧電薄膜の結晶構造における種々の元素添加の影響

田中早紀, *上原雅人, Anggraini Sri Ayu, 奥山哲也, 山田浩志, 秋山守人

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キーワード: 19p-P6-5, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 誘電性薄膜, 窒化アルミニウム, 圧電薄膜, 結晶構造

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