応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第65回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 17p-P12-21
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直接接合によるSiC/Si 界面特性の熱処理温度依存性
*下里 和史梁 剣波新井 学重川 直輝
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