応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第65回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 20a-E202-9
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

その場観察X線回折測定を用いたAlGaN/GaNヘテロ構造評価
*石原 和弥, 金山 亮介, 平子 涼, 岩谷 素顕, 竹内 哲也, 上山 智, 赤崎 勇
著者情報
キーワード: 20a-E202-9, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 光物性（GaN, AlGaN, AlInN）, その場観察X線回折測定, 窒化アルミニウムガリウム
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