ミストCVD により作製した二硫化モリブデン(MoS<sub>2</sub>)薄膜の特性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第65回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20p-C202-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.1.0_4037

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 65

開催地: 早稲田大学・ベルサール高田馬場

開催日: 2018/03/17 - 2018/03/20

ミストCVD により作製した二硫化モリブデン(MoS₂)薄膜の特性評価

*佐藤翔太, 坂本雅仁, 新田紀子, 刘丽, E. K. C. プラディープ, 鄧太江, 川原村敏幸

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キーワード: 20p-C202-2, ナノカーボン, 層状物質, 構造観察評価, ミストCVD, MoS2

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