電子線後方散乱回折法を用いたモザイクダイヤモンドの配向性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20p-222-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1357

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

電子線後方散乱回折法を用いたモザイクダイヤモンドの配向性評価

*松下晃生, 松岡実李, 藤森直治, 堂島大地, 小出和典, 金子忠昭, 鹿田真一

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キーワード: 20p-222-5, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, ダイヤモンド薄膜, ダイヤモンド

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