大気圧窒素プラズマ法合成窒化炭素の高圧処理(25万気圧）回収物のラマン散乱

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20p-222-23

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1375

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

大気圧窒素プラズマ法合成窒化炭素の高圧処理(25万気圧）回収物のラマン散乱

*財部健一, 平井正明, 匠正治, 永田潔文, 山崎大輔

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キーワード: 20p-222-23, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, B-C-N系薄膜, ナノアモルファス窒化炭素

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