酸化物機能材料のための非還元性SiO<sub>2</sub>-PECVDの検討

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-PB1-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1447

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

酸化物機能材料のための非還元性SiO₂-PECVDの検討

*座間秀昭, 小林忠正

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キーワード: 19p-PB1-16, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, エレクトロニクス機能探索, PECVD, SiO2, 非還元性

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