ナノピペットを有するプローブ顕微鏡を用いた大気圧プラズマジェットの局所照射による微細堆積加工法の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18a-143-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1585

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

ナノピペットを有するプローブ顕微鏡を用いた大気圧プラズマジェットの局所照射による微細堆積加工法の開発

*山本将, 森松大亮, 下村勝, 荻野明久, 永津雅章, 岩田太

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キーワード: 18a-143-5, 薄膜・表面, プローブ顕微鏡, 走査型プローブ顕微鏡, 大気圧プラズマジェット, 微細堆積加工法, ナノピペット

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