断面TEM観察用酸化物ナノファイバー基板の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-PA1-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1649

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

断面TEM観察用酸化物ナノファイバー基板の作製

渡邉幸輝, Sharma Subash, Araby Mona, 島政英, 原田拓実, Rosmi Saufi, Kalita Golap, 北澤正志, *種村眞幸

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キーワード: 20a-PA1-3, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電顕試料作製法・関連要素技術, 透過電子顕微鏡, 断面観察, 試料作製

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