ボルケーノ構造スピント型エミッタアレイ中の動作チップ数の改善

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21p-223-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1662

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

ボルケーノ構造スピント型エミッタアレイ中の動作チップ数の改善

*新谷英世, 池田貴大, 村田英一, 六田英治, 下山宏, 長尾昌善, 村上勝久

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キーワード: 21p-223-11, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電子ビームデバイス, フィールドエミッタアレイ, 電界電子放出顕微鏡, エージング

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