DCパルス放電による容量結合プラズマの特性評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19a-141-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1705

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

DCパルス放電による容量結合プラズマの特性評価

*進藤崇央, 森田靖, 鈴木歩太, 松土龍夫

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キーワード: 19a-141-2, プラズマエレクトロニクス, プラズマ生成・診断, 反応性プラズマの生成・制御, パルスDC, 電子密度, イオンエネルギ

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