応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20p-438-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

大気圧マイクロ波励起O2/CF4プラズマによるフォトレジスト除去処理
*石川 翔太, 鈴木 陽香, 本田 剛, 豊田 浩孝
著者情報
キーワード: 20p-438-6, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, 表面処理・表面改質・表面修飾, アッシング, 大気圧プラズマ, マイクロ波プラズマ
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