応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 21p-PB1-2
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プラズマ支援反応性スパッタ製膜を用いた高移動度IGZO薄膜トランジスタの形成(III)
*竹中 弘祐遠藤 雅吉谷 友希内田 儀一郎江部 明憲節原 裕一
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