Arガスクラスターイオンビームによる金属と有機膜の界面のXPS測定

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21p-PB1-18

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_1771

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

Arガスクラスターイオンビームによる金属と有機膜の界面のXPS測定

*關雅志, 仲村和貴, 山本紗矢香, 田中博美

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キーワード: 21p-PB1-18, プラズマエレクトロニクス, プラズマ成膜・エッチング・表面処理, 絶縁膜のエッチング, XPS, 有機膜, エッチング

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