バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄装置における水流の設計

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 21p-135-16

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_2793

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

バッチ式シリコンウエハ湿式洗浄装置における水流の設計

*松尾美弥, 宮崎賢都, 奥山将吾, 羽深等, 後藤昭広

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キーワード: 21p-135-16, 半導体, Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, 清浄化, 湿式洗浄, 水流, 設計

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