応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 19p-CE-14
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高温でイオン注入されたGaN基板のTEMによる欠陥評価(Ⅱ)
*前川 順子川野輪 仁青木 正彦高廣 克己一色 俊之
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