AlGaN/アニール処理スパッタAlNテンプレート上に作製した紫外レーザ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-146-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3278

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

AlGaN/アニール処理スパッタAlNテンプレート上に作製した紫外レーザ

*川瀬雄太, 池田隼也, 櫻木勇介, 安江信次, 岩山章, 金明姫, 岩谷素顕, 竹内哲也, 上山智, 赤﨑勇, 三宅秀人

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キーワード: 19p-146-10, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, 成長（MOVPE）, 窒化物半導体, 発光特性, 紫外

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