応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 19p-PA4-19
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

レーザーリフトオフによるGaNエピ成長用サファイア基板の再利用技術
*渡邊 一世, 田畑 晋, 高橋 邦充, 笠松 章史
著者情報
キーワード: 19p-PA4-19, 結晶工学, III-V族窒化物結晶, プロセス, レーザーリフトオフ, 窒化ガリウム系高電子移動度トランジスタ・エピ構造, サファイア基板の再利用・リサイクル
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (308K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2018 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top