応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 19p-131-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

SIMSによるSi結晶中の低炭素濃度測定
*大渕 真澄, 新宮 一恵, Wang Larry, Zhao Peter, Xu Man, Guo Jing, Lee Hang Dong
著者情報
キーワード: 19p-131-11, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, その他, シリコン, 炭素不純物, SIMS
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