テクスチャSi基板へのミストコート法によるZnO反射防止膜の形成に関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-PA5-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3511

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

テクスチャSi基板へのミストコート法によるZnO反射防止膜の形成に関する研究

菅野貴史, 佐々木莉奈, 渡辺貴大, 氷室貴大, *齋藤洋司, 河原正美

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キーワード: 19p-PA5-10, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, 光閉じ込め技術，透明電極形成技術, シリコン太陽電池, 反射防止膜, テクスチャ

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