Cat-CVD SiN<i><sub>x</sub></i>膜のパッシベーション性能の膜厚依存性

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19p-PA5-13

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3514

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

Cat-CVD SiN_x膜のパッシベーション性能の膜厚依存性

*WEN YULI, 大平圭介

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キーワード: 19p-PA5-13, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, 新概念太陽電池, パッシベーション, 触媒化学気相堆積, SiNx膜

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