応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20p-133-10
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

反応性プラズマ蒸着法によるITO/a-Si界面化学結合状態の硬X線光電子分光法による評価
*西原 達平, 小島 拓人, 金井 皓輝, 松村 英樹, 神岡 武文, 大下 祥雄, 安野 聡, 廣沢 一郎, 小椋 厚志
著者情報
キーワード: 20p-133-10, 非晶質・微結晶, シリコン系太陽電池, 結晶／非晶質ヘテロ接合太陽電池, ヘテロ接合太陽電池, ITO, 硬X線光電子分光法
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