マグネトロンプラズマCVD による各種基板上へのグラフェンの成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 18p-PB3-63

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3651

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

マグネトロンプラズマCVD による各種基板上へのグラフェンの成長

*野々村秋人, 川上栞生, 三瓶明希夫, 林康明, 中野美尚, 塚原尚希, 村上裕彦

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キーワード: 18p-PB3-63, ナノカーボン, グラフェン, 構造観察評価, グラフェン

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