層状物質 NbSe<sub>2</sub>劈開膜の微細加工が伝導特性に与える影響 I：反応性イオンエッチング

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 19a-311-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3765

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

層状物質 NbSe₂劈開膜の微細加工が伝導特性に与える影響 I：反応性イオンエッチング

*星直樹, 矢部大輔, 友利ひかり, 渡邊賢司, 谷口尚, 神田晶申

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キーワード: 19a-311-11, ナノカーボン, 層状物質, 基礎物性, 層状物質, カルコゲナイド

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