Si-rich SiGe/Si超格子における界面偏析が熱伝導率へ与える影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20p-234B-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3861

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

Si-rich SiGe/Si超格子における界面偏析が熱伝導率へ与える影響

*谷口達彦, 成瀬延康, 山下雄一郎, 中村芳明

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キーワード: 20p-234B-10, 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」, 熱電変換, シリコン, 超格子, 熱電材料

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