時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第79回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 20a-224A-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_791

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

時間分解解析を用いたレーザー照射によるレジスト剥離現象の解明

*西岡直樹, 梅田悠史, 船本祐介, 島大地, 倉前宏行, 神村共住, 堀邊英夫, 吉村政志, 中村亮介

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キーワード: 20a-224A-3, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, レーザー励起現象, 光学, レーザー損傷

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