応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第79回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 20a-224A-5
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 79

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2018/09/18 - 2018/09/21

レーザステルスダイシング加工によリ生じたSi結晶欠陥のSEM解析
河口 大祐, 岩田 博之, *坂 公恭
著者情報
キーワード: 20a-224A-5, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 加工基礎・モニタリング・ダイナミクス, レーザ照射, ボイド, ステルスイダシング
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