マイクロ波加熱を用いたNbドープTiO<sub>2</sub>薄膜の固相結晶化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 9p-PA4-20

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_1339

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

マイクロ波加熱を用いたNbドープTiO₂薄膜の固相結晶化

*保崎正道, 松久将之, 遊馬博明, 中尾祥一郎, 長谷川哲也, 清水亮太, 西尾和記, 和田雄二, 一杉太郎

著者情報

キーワード: 9p-PA4-20, 薄膜・表面, 酸化物エレクトロニクス, ワイドギャップ系、透明材料, 透明導電性酸化物, マイクロ波, 固相結晶化

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2019 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top