パルスレーザー堆積法による BaF<sub>2</sub>薄膜を用いた真空紫外光センサの開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 9p-PA1-17

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_1415

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

パルスレーザー堆積法による BaF₂薄膜を用いた真空紫外光センサの開発

*加藤誠也, 鈴木健太郎, 大谷潤, 加瀬征彦, 小野晋吾

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キーワード: 9p-PA1-17, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 半導性・導電性薄膜, 紫外光センサ, 光伝導, パルスレーザー堆積法

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