電子線誘起による高分子薄膜における金属ナノ粒子の合成とパターニングに関する研究

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 9p-S223-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_1552

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

電子線誘起による高分子薄膜における金属ナノ粒子の合成とパターニングに関する研究

*山本洋揮, 古澤孝弘, 田川精一, マリグリナージャンルイ, モスタファビメラン, ベローニジャックリン

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キーワード: 9p-S223-4, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, レジスト, レジスト, 電子線, 金属ナノ粒子

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