非破壊界面準位密度測定の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第66回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 10p-W934-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.1.0_2638

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 66

開催地: 東京工業大学大岡山キャンパス

開催日: 2019/03/09 - 2019/03/12

非破壊界面準位密度測定の開発

*阿部成海, 葛川翔太郎, 松山浩輝, 熊谷祐希, 中山雄介, 中村駿佑, 永友航太郎, 小林一博, 久保田弘, 橋新剛, 吉岡昌雄

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キーワード: 10p-W934-4, 半導体, Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, 新評価法, 半導体

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